(1) Pre-PVD-behandling, inklusive rengöring av föremål och förbehandling.Specifika rengöringsmetoder inkluderar rengöringsmedelsrengöring, rengöring med kemiska lösningsmedel, ultraljudsrengöring och rengöring med jonbombardement.
(2) Placera dem i ugnen, inklusive rengöring av vakuumkammare och fixturer, och installation, driftsättning och anslutning av föremål och fixturer.
(3) Dammsugning, vanligtvis pumpning till 6,6 Pa eller mer, öppna framsidan av diffusionspumpen tidigare för att behålla vakuumpumpen och värma upp diffusionspumpen.Efter att förvärmningen är tillräcklig öppnas den höga ventilen och pumpas till ett 6 x 10-3 Pa halvbottenvakuum med en diffusionspump.
(4) Bakning, bakning av föremålen till önskad temperatur.
(5) Jonbombardement, vakuumet är i allmänhet 10 Pa till 10-1 Pa, jonbombardemangsspänningen är en negativ högspänning på 200 V till 1 KV, och attacktiden är 15 min till 30 min.
(6) Försmältning, justering av strömmen för att försmälta materialet, justering av strömmen för att försmälta plätering och avgasning i 1 min ~ 2 min.Avdunstningsavlagring.Förångningsströmmen justeras efter behov tills den önskade deponeringstiden är över.Kylning, föremålen kyls till en viss temperatur i vakuumkammaren.
(7) Efter att föremålen har tagits ut stängs vakuumkammaren, vakuumet evakueras till l × 10-1 Pa och diffusionspumpen kyls till den tillåtna temperaturen innan underhållspumpen och kylvattnet kan stängas av.